医学科技的日新月异，使得各种精密仪器和设备被逐步推广应用 ,而这些设备往往因无法耐受高温而不能进行高温灭菌。为了解决这一问题 ,各种低温灭菌方法逐渐产生 ,如环氧乙烷(EO) 低温灭菌器、过氧化氢等离子体(plasma)灭菌器、低温蒸汽甲醛灭菌器(LTSF)，被广泛应用于临床。
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