低能电子衍射(英语:Low-energy electron diffraction,LEED)是一种用以测定单晶表面结构的实验手段,使用准直的低能电子束(20–200 eV)[1]轰击样品表面,可在荧光屏上观测到被衍射的电子所形成的光斑,进而表征样品的表面结构。
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